中国电子行业超纯水国家标准

电子行业对超纯水的要求：

电阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%时间）不低于17 15（95%时间）不低于13

硅≤μg/l 2 10

>1μM微粒数≤个/ml 0.1 5

细菌个数≤个/ml 0.01 0.1

铜≤μg/l 0.2 1

锌≤μg/l 0.2 1

镍≤μg/l 0.1 1

钠≤μg/l 0.5 2

钾≤μg/l 0.5 2

氯≤μg/l 1 1

硝酸根≤μg/l 1 1

磷酸根≤μg/l 1 1

硫酸根≤μg/l 1 1

总有机碳≤μg/l 20 100