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中国电子行业超纯水国家标准

发布时间:2017-06-23      点击次数:2025

电子行业对超纯水的要求:

电阻率MΩ.cm(25℃) 18以上(95%时间)不低于17 15(95%时间)不低于13

硅≤μg/l 2 10

>1μM微粒数≤个/ml 0.1 5

细菌个数≤个/ml 0.01 0.1

铜≤μg/l 0.2 1

锌≤μg/l 0.2 1

镍≤μg/l 0.1 1

钠≤μg/l 0.5 2

钾≤μg/l 0.5 2

氯≤μg/l 1 1

硝酸根≤μg/l 1 1

磷酸根≤μg/l 1 1

硫酸根≤μg/l 1 1

总有机碳≤μg/l 20 100

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